名稱

雙通道

三通道

四通道

五通道

CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)質(zhì)量流量控制器

工作溫度：5~45ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S

重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度：5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S
重復(fù)精度:±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度:5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S.
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制

輸入電源

        AC 220V/50Hz單相

功率

        23W

PLC觸摸屏

·  CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一個(gè)7"的觸摸屏上 

· RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

機(jī)械壓力表

·  有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

·   量程:-0.1~0.15 MPa 

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

·  內(nèi)部連接管道為Φ不銹鋼管 

·  外部通氣管道為Φ聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

·316不銹鋼針閥 

 Φ6mm 不銹鋼管

外形尺寸

 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)