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    品質(zhì)是生命,服務(wù)是宗旨

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    (含預(yù)熱器)雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)

    更新時間:  2019-05-19

    產(chǎn)品型號:  

    產(chǎn)品報價:  

    所  在  地:  合肥市新站區(qū)穎河路22號

    產(chǎn)品特點:  (含預(yù)熱器)雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) 雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD(化學(xué)氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設(shè)備

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    產(chǎn)品概述

    設(shè)備描述

    CVD1200C-II-SL  200D50-5Z(含預(yù)熱器) 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由預(yù)熱爐、雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD(化學(xué)氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設(shè)備

    技術(shù)參數(shù)

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50

    爐體結(jié)構(gòu)

    該設(shè)備采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使其爐體表面溫度都小于55℃

    ·           爐底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。

    爐管尺寸

    Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)

    功率

    5kW

    輸入電壓

    220VAC 單相 50/60Hz

    加熱元件

    Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

    高溫度

    高溫度:1200℃ 

    額定溫度:1100℃

    升溫速率

     ≦10℃/min(推薦)

    加熱區(qū)長度度

    ·         兩個加熱區(qū)的長度都是200mm

    ·         分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制

    恒溫區(qū)長

    ·         100+100mm(±1℃)

    ·         可獲得較長恒溫區(qū)間

    控溫精度

    ·          ±1℃

    快速連接法蘭

    ·         Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭

    ·         打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
    另配備有可調(diào)節(jié)高度的法蘭支架

     

     

    預(yù)熱爐

    功率

    ·         1kw

    加熱區(qū)

    ·         100mm

    高溫度

    ·         1200℃

    工作溫度

    ·         200-800℃(可根據(jù)實際工藝需求調(diào)整)

     

     

    五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

    MFC-5Z

    電壓

    220VAC  單相  50/60Hz

    針閥材質(zhì)

    316不銹鋼

    量程

    50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

    工作溫度

    5~45℃

    外型尺寸

    600(L) x 600(W) x 700(H) mm

    電壓

    AC220V/50Hz單相

    功率

    23W

     

     

    真空系統(tǒng)

    LVU-10

    殼體尺寸

    ·         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

    大承載量

    ·         1000 Lbs 

    抽氣速率

    ·         10m³/h

    ·         極限真空度:10-1Pa

    ·         雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接

    質(zhì)保期

    一年質(zhì)保期,(相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件)

     

     

     

     

    使用注意事項

    ·         爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

    ·        

    ·         當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

    ·         石英管的長時間使用溫度<1100℃

    ·         對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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