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    品質(zhì)是生命,服務(wù)是宗旨

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    薄膜材料制備

    更新時(shí)間:  2025-07-10

    產(chǎn)品型號(hào):  LFT1400C 300D602ZLV CVD

    產(chǎn)品報(bào)價(jià):  

    所  在  地:  合肥市新站區(qū)穎河路22號(hào)

    產(chǎn)品特點(diǎn):  薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結(jié)、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。該設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠,溫場(chǎng)均勻,結(jié)構(gòu)合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡(jiǎn)便快捷,是各大材料實(shí)驗(yàn)室的理想設(shè)備之一。

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    產(chǎn)品概述

    一、設(shè)備特點(diǎn):

    薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結(jié)、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。該設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠,溫場(chǎng)均勻,結(jié)構(gòu)合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡(jiǎn)便快捷,是各大材料實(shí)驗(yàn)室的理想設(shè)備之一。

    1、保溫材料采用真空吸附成型的純氧化鋁纖維無機(jī)材料,不含污物,潔凈,美觀。

    2、采用模糊PID控制精準(zhǔn)控制,溫場(chǎng)均勻,燒結(jié)成品一致性好。

    3、爐體采用雙層風(fēng)冷機(jī)構(gòu),爐子燒到最高溫度時(shí),殼體表面溫度低于60度。

    4、爐膛材料:高純氧化鋁多晶純纖維,不參氧化鋁粉,潔凈節(jié)能。

    二、技術(shù)參數(shù):

    名稱

    規(guī)格

    單溫區(qū)真空管式爐CVD系統(tǒng)  

    單溫區(qū)真空管式爐

    爐管尺寸

    Φ60×1000mm 更多其他規(guī)格剛玉管可選(Φ50/60/80/100mm等)

    主要參數(shù)

    最高溫度: 1400℃

    工作溫度: 1300℃

    推薦升溫速率:≤10℃/min

    加熱區(qū)長(zhǎng)度: 300mm

    額定功率:4KW

    電壓:?jiǎn)蜗郃C 208 - 240V, 50Hz

    爐體結(jié)構(gòu)

    雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

    高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節(jié)約能源

    爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長(zhǎng)爐子的使用壽命

    溫控系統(tǒng)

    模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

    智能化30段可編程控制

    具有超溫及斷偶報(bào)警功能

    控溫精度: ±1 ℃

    S型熱電偶

    可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集(需另購)

     

    溫控儀表(可選)

    標(biāo)配儀表品牌為宇電,可選定其他品牌溫控儀表,如島電等。

    管堵

    多種規(guī)格管堵,防止來自內(nèi)部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須放入爐腔。

    密封系統(tǒng)

    爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

    如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(jì)(需另外訂購)

    備注:本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進(jìn)氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

    出氣端預(yù)留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數(shù)顯真空計(jì),以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

    擴(kuò)展端口

    如進(jìn)氣管道為橡膠軟管,則需將進(jìn)氣口更換成Φ9氣嘴接頭

    真空度

    雙極旋片機(jī)械泵:10^-1Pa

    分子泵機(jī)組:10^-3 Pa

    可選配本公司配套高低真空

    二路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

    MFC-2Z

    電壓

    220VAC  單相  50/60Hz

    針閥材質(zhì)

    316不銹鋼

    量程

    50sccm、100sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

    工作溫度

    5~45℃

    外型尺寸

    600(L) x 600(W) x 750(H) mm

    電壓

    AC220V/50Hz單相

    功率

    23W

    真空系統(tǒng)

    LVU-10

    殼體尺寸

    600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

    最大承載量

    1000 Lbs

    抽氣速率

    10m³/h

    極限真空度:10-1Pa

    雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接

    質(zhì)保期

    一年保修,終身技術(shù)支持。

    特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

    相關(guān)應(yīng)用

    爐膛內(nèi)襯可以單獨(dú)更換(額外付費(fèi))

    可以根據(jù)要求設(shè)計(jì)成帶有滑動(dòng)法蘭的爐子

    應(yīng)用注意事項(xiàng)

    爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

    由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

    當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

    進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

    石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

    對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


     

     

     

     

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